通過聚焦透鏡后，光束可以直接或通過偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)偏轉(zhuǎn)后用于焊接。它由兩對(duì)線圈組成，每個(gè)X和Y方向一個(gè)。這些可以用于“靜態(tài)”或“動(dòng)態(tài)”偏轉(zhuǎn)。靜態(tài)偏轉(zhuǎn)對(duì)于通過焊接定位梁很有用。動(dòng)態(tài)偏轉(zhuǎn)是通過向偏轉(zhuǎn)線圈提供可由計(jì)算機(jī)控制的電流來實(shí)現(xiàn)的。這為電子束應(yīng)用開辟了新的可能性，例如表面硬化或退火，的電子束定位等。

快速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)也可以用于成像和雕刻（如果配備了適當(dāng)?shù)碾娮釉O(shè)備）。在這種情況下，設(shè)備像掃描電子顯微鏡一樣操作，分辨率約為0.1毫米（受光束直徑限制）。在類似的模式下，由計(jì)算機(jī)控制的細(xì)光束可以通過熔化薄的表面層在金屬表面“寫”或“畫”圖片。

電子束焊技術(shù)早于1948年源起于德國(guó)，1952年制作了臺(tái)電子束加工機(jī)，1958年誕生了臺(tái)電子束焊機(jī)。真空電子束焊機(jī)提示它的基本原理是：真空條件下，電子槍發(fā)射的電子束在高電壓（通常是20kV～300kV）加快下（0.3～0.7倍的光速），通過電磁透鏡聚集成高能量密度的電子束，當(dāng)電子束炮擊工件時(shí)，電子的動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱能，焊區(qū)的部分溫度突然上升到6000℃以上，使工件材料熔化，完結(jié)焊接。

電子束焊按被焊工件所在環(huán)境的真空度可分為三種：高真空電子束焊，低真空電子束焊和非真空電子束焊：
高真空電子束焊在10-4～10-1Pa的壓強(qiáng)下進(jìn)行。真空條件，可以對(duì)熔池的“維護(hù)”防止金屬元素的氧化和燒損，適用于活性金屬、難熔金屬和質(zhì)量要求高的工件的焊接。
低真空電子束焊在10-1～10Pa的壓強(qiáng)下進(jìn)行，也具有束流密度和功率密度高的特征。由于只需抽到低真空，縮短了抽真空時(shí)間，提高了出產(chǎn)率，適用于批量大的零件的焊接和在出產(chǎn)線上運(yùn)用。

宇航技術(shù)中所用各類火箭、衛(wèi)星、飛船、空間站、太陽能電站等的結(jié)構(gòu)件、發(fā)動(dòng)機(jī)以及各種儀器均需用焊接技術(shù)來完結(jié)，電子束焊接將是完結(jié)空間結(jié)構(gòu)焊接和滿足其需求的強(qiáng)有力技術(shù)。且跟著設(shè)備、技術(shù)等國(guó)產(chǎn)化趨勢(shì)的增強(qiáng)，及電子束焊接等技術(shù)對(duì)焊材及人工本錢的大幅下降優(yōu)勢(shì)逐漸趨于明顯等，國(guó)內(nèi)電子束焊機(jī)等電子束金屬加工設(shè)備工作展開將迎來利好趨勢(shì)，給電子束焊機(jī)的展開增添了新的生機(jī)。

一臺(tái)典型的真空電子束焊機(jī)首要包括了主機(jī)，控制箱，高壓電源，真空抽氣系統(tǒng)和監(jiān)測(cè)控制器四大部分。
1.真空電子束焊機(jī)主機(jī)由電子槍、真空室和工件傳動(dòng)系統(tǒng)及操作臺(tái)組成。
2.真空電子束焊機(jī)的高壓電源包括：陽壓主電源、陰極加熱電源，以及束流控制用高壓電源系統(tǒng)。
3.真空電子束焊機(jī)的控制箱包括：高壓電源控制設(shè)備、電子槍陰極加熱電源的控制系統(tǒng)、束流控制設(shè)備、聚集電源控制設(shè)備，以及束偏轉(zhuǎn)發(fā)生器等。
4.真空抽氣系統(tǒng)包括：電子槍抽氣系統(tǒng)、作業(yè)室抽氣系統(tǒng)?以及真空控制及監(jiān)測(cè)設(shè)備。